萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間潔凈度要求：
萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間的潔凈度：潔凈度10000級(jí)cleanliness class 10000（P2萬(wàn)級(jí)實(shí)驗(yàn)室即ISO7級(jí)）即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。
萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間的壓差及溫濕度控制：
1、溫度:干盤(pán)管系統(tǒng)控制。
2、濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過(guò)感測(cè)的信號(hào),控制三通閥開(kāi)度來(lái)調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤(pán)管進(jìn)水量。
3、正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測(cè)的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。
萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：
氣流速度及其均勻度檢測(cè)，是無(wú)塵室效果的其他各項(xiàng)檢測(cè)的前提，這項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了明確單向流無(wú)塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
1、室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)：潔凈度的檢測(cè)是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)。
2、自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè)：通過(guò)確定自?xún)魰r(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。
3、照度的檢測(cè)：照度檢測(cè)的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
4、振動(dòng)的檢測(cè)：振動(dòng)檢測(cè)的目的是為了判明無(wú)塵室各表明的振動(dòng)幅度。
5、溫、濕度的檢測(cè)：溫、濕度檢測(cè)的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測(cè)無(wú)塵室的送風(fēng)溫度，檢測(cè)有代表性測(cè)點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)無(wú)塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)敏感元件處的空氣度，檢測(cè)室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測(cè)回風(fēng)溫度。
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